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发明名称 STEP AND REPEAT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0851069(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19950112936 申请日期 1995.05.11
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 BAAN JIN RIN
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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