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发明名称 GAS CLEANING METHOD IN PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0849080(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940206035 申请日期 1994.08.08
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUDA ATSUHIKO
分类号 C23C16/44;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/306 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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