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发明名称 PROCESS OF PLASMA-CHEMICAL PRECIPITATION OF FILMS OF PHOSPHOROUS-SODA-LIME GLASS
摘要
申请公布号 RU1795829(C) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 SU19914904084 申请日期 1991.01.22
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "INTEGRAL" 发明人 TURTSEVICH A.S.;KRASNITSKIJ V.YA.;KOZLOV A.L.;KHIMKO G.A.;KORESHKOV G.A.;KASTRITSKIJ L.V.
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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