发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH0851074(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940185661 申请日期 1994.08.08
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUWABARA TAKASHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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