| 发明名称 |
METHOD FOR FEEDING LIQUID AND RAW GAS AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0847629(A) |
申请公布日期 |
1996.02.20 |
| 申请号 |
JP19940204488 |
申请日期 |
1994.08.05 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
OGURO AKIJI;KUROSAWA YASUSHI |
| 分类号 |
C30B25/14;B01J4/00;C03B19/14;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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