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发明名称 CLEANING TANK
摘要
申请公布号 JPH0851093(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940185586 申请日期 1994.08.08
申请人 DAN KAGAKU:KK 发明人 HIRATSUKA YUTAKA;AKIYAMA TADASHI;SASAKI MICHIHITO
分类号 B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
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