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发明名称 PROCESS OF RELIEF FABRICATION IN DIELECTRIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 RU2054747(C1) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 SU19925057885 申请日期 1992.08.06
申请人 OMSKIJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT PRIBOROSTROENIYA 发明人 STOLETOV IGOR S;KORZH IVAN A;DOROKHINA GALINA S
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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