| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR COATING WORKPIECE AND METHOD OF CATHODE ARC DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0849066(A) |
申请公布日期 |
1996.02.20 |
| 申请号 |
JP19950159245 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
HANSU BURENDORU;ERITSUHI BERUGUMAN |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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