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发明名称 PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0850163(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940184745 申请日期 1994.08.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ORAKU MAMORU;ASAKAWA TADATAKA;SHIGA KATSUMI;MUKAI EIJI;SASAKI YUICHI;MIURA AKIHIRO
分类号 G01R1/06;G01R31/00;G01R31/28;G06F17/50;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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