发明名称 TESTING METHOD AND TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0850162(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940184794 申请日期 1994.08.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUDA YOSHIYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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