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发明名称 INSPECTION CIRCUIT AND INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0850158(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940186082 申请日期 1994.08.08
申请人 READ ELECTRON:KK 发明人 YAMASHITA MUNEHIRO
分类号 G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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