发明名称 |
METHOD OF DETERMINATION OF PROFILE OF CONCENTRATION OF CURRENT CARRIERS IN SEMICONDUCTOR STRUCTURES WITH USAGE OF SEMICONDUCTOR-ELECTROLYTE CONTACT |
摘要 |
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申请公布号 |
RU2054748(C1) |
申请公布日期 |
1996.02.20 |
申请号 |
RU19930020968 |
申请日期 |
1993.04.22 |
申请人 |
KOLMAKOVA TAMARA PAVLOVNA |
发明人 |
KOLBASOV GENNADIJ YA;KOLMAKOVA TAMARA P;PILDON VLADIMIR I;TARANETS TATYANA ALEKSANDROVNA |
分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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