发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0851145(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19950160049 申请日期 1995.06.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TOMIOKA YUGO
分类号 H01L21/8247;H01L21/265;H01L21/76;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址