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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SMOOTHING STEP
摘要
申请公布号 JPH0851112(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940187201 申请日期 1994.08.09
申请人 SONY CORP 发明人 KAMEOKA KATSUYA
分类号 H01L21/3205;H01L21/26;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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