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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE OF IT
摘要
申请公布号 JPH0851188(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940185715 申请日期 1994.08.08
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD 发明人 HASHIMOTO CHIEMI;OKUYAMA KOSUKE;ISHIZUKA HIROYASU
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/00;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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