发明名称 PULSE HEATING TOOL AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0851129(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940185679 申请日期 1994.08.08
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAMURA TSUTOMU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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