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发明名称 CLEANING FLUID FOR SILICON WAFER AND SILICON OXIDE
摘要
申请公布号 JPH0848996(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940203023 申请日期 1994.08.05
申请人 NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK 发明人 KAMIMURA KENICHI;SHIMANOE NORITAKE;SAKON TADASHI;MUNEHIRA SHIYUUJI;OGURA TOYOJI;TANAKA HARUKI
分类号 C30B29/06;C11D7/06;C23G1/00;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/06 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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