| 摘要 |
<p>Le corps (12) de valve comporte un conduit commun (16) d'écoulement et deux autres conduits (18,20) d'écoulement pouvant être raccordés à des conduites extérieures. Un déversoir (22) ayant deux sièges (26,30) de valve sépare le conduit commun des deux autres conduits. Deux diaphragmes coaxiaux (34,36) sont destinés à porter contre les sièges. Les deux diaphragmes sont reliés à des compresseurs (38,40) qui les commandent par l'intermédiaire de cylindres pneumatiques (54,56). Domaine d'application : fabrication de semi-conducteurs, etc.</p> |
