发明名称 SURFACE-TREATING METHOD AND APPARATUS FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0845842(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940194809 申请日期 1994.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 FURUHATA NAOKI;NIWA SHIGEKI
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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