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发明名称 ALIGNMENT ACCURACY INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0845820(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940177987 申请日期 1994.07.29
申请人 HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD 发明人 HATTORI KOJI;TANAKA TOSHIHIKO;IMAI AKIRA;YAMAMOTO JIRO;UENO TAKUMI;ONOZUKA TOSHIHIKO;MORIUCHI NOBORU;SHIRAI SEIICHIRO
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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