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发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0844063(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940196082 申请日期 1994.07.28
申请人 NIPPON ZEON CO LTD 发明人 MATSUNO SHUGO;TANAKA HIDEYUKI;ABE NOBUNORI;WADA YASUMASA;SUGIMOTO TATSUYA
分类号 G03F7/004;G03F7/033;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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