| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0846177(A) |
申请公布日期 |
1996.02.16 |
| 申请号 |
JP19940181009 |
申请日期 |
1994.08.02 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HORI SHIZUE;FUJIWARA TAKASHI;HIYOSHI MICHIAKI |
| 分类号 |
H01L29/74;H01L21/261;H01L21/324;H01L29/744;(IPC1-7):H01L29/74 |
主分类号 |
H01L29/74 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
