发明名称 METALLIC FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0846115(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940181432 申请日期 1994.08.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HARA SATORU;TANAKA HIROYUKI
分类号 B23K1/20;H01L23/50;H05K3/34;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 B23K1/20
代理机构 代理人
主权项
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