发明名称 THERMAL TREATMENT METHOD OF SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0845948(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940182612 申请日期 1994.08.03
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TSUMORI YASUO
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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