| 发明名称 |
THIN-FILM DEPOSITION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0845851(A) |
申请公布日期 |
1996.02.16 |
| 申请号 |
JP19940177351 |
申请日期 |
1994.07.29 |
| 申请人 |
NEC CORP;ANELVA CORP |
发明人 |
SUGAI KAZUMI;KOBAYASHI AKIKO;KISHIDA SHUNJI |
| 分类号 |
G01B7/004;C23C16/52;G01B11/06;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
G01B7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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