发明名称 ACCELERATION SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0843432(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940193678 申请日期 1994.07.26
申请人 FUJI CERAMICS:KK 发明人 INABA HIDEHIRO
分类号 G01P15/09;G01P15/18;H01L29/84 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
主权项
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