发明名称 |
MOISTURE CONTROL SYSTEM FOR EQUIPMENT USING ORGANIC REFRIGERANT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0846103(A) |
申请公布日期 |
1996.02.16 |
申请号 |
JP19940181088 |
申请日期 |
1994.08.02 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
GOHARA HIROMI;MINAMITANI RINTARO;HATSUDA TOSHIO |
分类号 |
H01L23/473;(IPC1-7):H01L23/473 |
主分类号 |
H01L23/473 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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