发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0845901(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940174309 申请日期 1994.07.26
申请人 SONY CORP 发明人 OGISHI HIROKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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