Coating film comprising a negative-working photosensitive composition and pattern-formation method,申请号EP19890105301-传众专利搜索

发明名称	Coating film comprising a negative-working photosensitive composition and pattern-formation method
摘要
申请公布号	EP0334381(B1)	申请公布日期	1996.02.14
申请号	EP19890105301	申请日期	1989.03.23
申请人	HITACHI, LTD.;HITACHI CHEMICAL CO., LTD.	发明人	TORIUMI, MINORU;HAYASHI, NOBUAKI;HASHIMOTO, MICHIAKI;UENO, TAKUMI;IWAYANAGI, TAKAO
分类号	G03F7/008;(IPC1-7):G03F7/008	主分类号	G03F7/008
代理机构		代理人
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