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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0814517(B2) 申请公布日期 1996.02.14
申请号 JP19870310513 申请日期 1987.12.08
申请人 发明人
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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