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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0841657(A)
申请公布日期
1996.02.13
申请号
JP19940176799
申请日期
1994.07.28
申请人
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD
发明人
NONAKA MIKIO
分类号
C23F1/08;(IPC1-7):C23F1/08
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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