| 发明名称 |
Cleaning method using azeotropic mixtures of perfluoro-n-hexane with diisopropyl ether or isohexane and cleaning apparatus using same |
| 摘要 |
Disclosed herein is a mixed solvent composition including perfluorohexane and isohexane or diisopropyl ether.
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| 申请公布号 |
US5490894(A) |
申请公布日期 |
1996.02.13 |
| 申请号 |
US19950418436 |
申请日期 |
1995.04.07 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MATSUHISA, HIROHIDE;MIDORIKAWA, SATOKO;MIMA, SUMIRE |
| 分类号 |
C11D7/24;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/30;C11D7/32;C11D7/50;C11D7/60;C23G5/028;C23G5/04;(IPC1-7):B08B3/08;B08B5/00;B05C3/02;B05C9/12 |
主分类号 |
C11D7/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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