发明名称 PRODUCTION OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS
摘要
申请公布号 JPH0840727(A) 申请公布日期 1996.02.13
申请号 JP19940182212 申请日期 1994.08.03
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 TANAKA HIDEJI;AOYAMA TAKESHI;FURUSAWA MICHITAKA
分类号 C03B8/02;C03B19/12;C03B20/00;C03C3/06;C30B15/10;(IPC1-7):C03B8/02 主分类号 C03B8/02
代理机构 代理人
主权项
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