发明名称 Vorrichtung zum Verdampfen von Substanzen.
摘要
申请公布号 DE69022487(T2) 申请公布日期 1996.02.08
申请号 DE19906022487T 申请日期 1990.06.12
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TABATA, YOICHIRO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;UEDA, YOSHIHIRO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K, 8-CHOME AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;UEGURI, SHIGEO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;HARA, KAZUHIKO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP
分类号 H01S3/03;(IPC1-7):H01S3/227;H01S3/097;H01S3/036 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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