Seletive Bearbeitung unter Verwendung eines Kohlenwasserstoffs und eines Wasserstoffs,申请号DE19951023999-传众专利搜索

发明名称	Seletive Bearbeitung unter Verwendung eines Kohlenwasserstoffs und eines Wasserstoffs
摘要
申请公布号	DE19523999(A1)	申请公布日期	1996.02.08
申请号	DE19951023999	申请日期	1995.06.30
申请人	MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US	发明人	HASHEMI, MAJID M., TEMPE, ARIZ., US;ABROKWAH, JONATHAN K., TEMPE, ARIZ., US;ROGERS, STEPHEN P., PHOENIX, ARIZ., US
分类号	H01L21/302;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/306;C23F4/00	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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