发明名称 PRÜFVORRICHTUNG FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE69115776(D1) 申请公布日期 1996.02.08
申请号 DE19916015776 申请日期 1991.02.01
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SEKINO, TAKASHI, KITAADACHI-GUN, SAITAMA 369-01, JP
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;G01R35/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/303 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址