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经营范围
发明名称
PRÜFVORRICHTUNG FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号
DE69115776(D1)
申请公布日期
1996.02.08
申请号
DE19916015776
申请日期
1991.02.01
申请人
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
SEKINO, TAKASHI, KITAADACHI-GUN, SAITAMA 369-01, JP
分类号
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;G01R35/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/303
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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