Bildprojektionsverfahren und Herstellungsverfahren von Halbleiterbauteilen unter Verwendung desselben,申请号DE19926007106-传众专利搜索

发明名称	Bildprojektionsverfahren und Herstellungsverfahren von Halbleiterbauteilen unter Verwendung desselben
摘要
申请公布号	DE69207106(D1)	申请公布日期	1996.02.08
申请号	DE19926007106	申请日期	1992.07.31
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	SUZUKI, AKIYOSHI, C/O KOSUSGI JIGYOSHO, CANON K.K., KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号	G02B27/42;G02B27/46;G02B27/52;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/32	主分类号	G02B27/42
代理机构		代理人
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