发明名称 Verfahren zur Herstellung eines MIS Transistors
摘要
申请公布号 DE3900147(C2) 申请公布日期 1996.02.08
申请号 DE19893900147 申请日期 1989.01.04
申请人 SEIKO EPSON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ITO, MITSUAKI, SUWA, NAGANO, JP
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/265;H01L21/66 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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