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发明名称
Ätzgerät unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls
摘要
申请公布号
DE69115818(D1)
申请公布日期
1996.02.08
申请号
DE19916015818
申请日期
1991.09.30
申请人
SHIMADZU CORP., KYOTO, JP
发明人
YAMAKAGE, YASUHIRO, DAI 10 RAKUSAI ABANHIRU, FUSHIMI-KU, KYOTO 612, JP
分类号
H05H5/00;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305;H01J37/08
主分类号
H05H5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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