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Bei einem Feuchtesensor (1) wird das effektive Sensorfeld (4) durch zwei jeweils eine Fächerstruktur aufweisende Sensorelemente (8a, 8b) gebildet. Diese Sensorelemente bestehen aus mittels Magnetronkatodenzerstäubung oder Glimmen auf ein dielektrisches Substrat (2) aufgebrachten Schichten aus einer Metallnitridverbindung, insbesondere einer Chrom-Stickstoff-Verbindung, wobei die Metallnitridschichten auf die mittels Ionensputtern gereinigte Substratfläche abgeschieden werden. Diese Sensorelementenschichten (8a, 8b) weisen eine hohe Härte von ca. 2.000 Vickers auf, wodurch die Sensorelemente (8a, 8b) eine hohe Abriebfestigkeit gegenüber abrasivem Verschleiß, z.B. durch Wischblätter- oder Eiskratzer aufweisen. Der Feuchtesensor ist mit einem geringen elektrischen Flächenwiderstand von < als 100 Ohm/□ herstellbar und gegenüber Umwelteinflüssen, wie z.B. Salzwasser- und/oder Scheibenreinigungsmitteln chemisch stabil. Dadurch eignet sich der vorgeschlagene Feuchtesensor insbesondere zum Einsatz als Regensensor bei Fahrzeugen, wobei der Regensensor vorzugsweise auf einer Fahrzeugfensterscheibe angeordnet ist.
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