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发明名称
摘要
申请公布号	JPH084103(Y2)	申请公布日期	1996.02.07
申请号	JP19900110498U	申请日期	1990.10.24
申请人		发明人
分类号	H05H1/46;B01J19/08;B01J19/12;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B01J19/12	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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