| 发明名称 |
Forming patterns of semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2291977(A) |
申请公布日期 |
1996.02.07 |
| 申请号 |
GB19950015148 |
申请日期 |
1995.07.24 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
JOON * HWANG;YONG HWA * KIM |
| 分类号 |
H01L21/3213;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/40 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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