Method and apparatus for plasma modification of flat porous articles

摘要

Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zum Modifizieren von flächigen, porösen Gegenständen mit Hilfe eines Niederdruckplasmas bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die den flächigen, porösen Gegenstand enthaltende Plasmakammer vor der Zündung des Plasmas auf einen Basis-Innendruck der Anfangsgase <= 0.05 mbar gebracht wird und sodann Reaktionsgas in die Kammer eingebracht und während der Behandlung eine Druckdifferenz zwischen der Ober- und der Unterseite des Gewebes aufrechterhalten wird, derart, daß das Plasma durch den flächigen Gegenstand hindurchströmt. Ferner wird eine Vorrichtung zum Behandeln von flächigen Gegenständen mit einem Niederdruckplasma bereitgestellt. <IMAGE>