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发明名称 Exposure apparatus and control of the same
摘要
申请公布号 EP0358467(B1) 申请公布日期 1996.02.07
申请号 EP19890308998 申请日期 1989.09.06
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAWAKAMI, EIGO;OZAWA, KUNITAKA;UDA, KOJI;SHIMODA, ISAMU;UZAWA, SHUNICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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