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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0835082(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940169199 申请日期 1994.07.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAGO KAZUATSU
分类号 C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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