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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0837300(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940170553 申请日期 1994.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ANEZAKI TORU
分类号 H01L21/336;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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