发明名称 WAFER PLATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0837189(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940169878 申请日期 1994.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TETANI MICHINARI;MATSUMURA TAKASHI
分类号 C25D7/12;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
地址