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发明名称 PRESSURIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0837198(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940192775 申请日期 1994.07.25
申请人 NIPPON INTER ELECTRONICS CORP 发明人 YAMAGUCHI TOSHIKAZU
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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