发明名称 WAFER TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0835066(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940167878 申请日期 1994.07.20
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 TSUINO YASUHIRO
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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