发明名称 SPIN COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0836971(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940173015 申请日期 1994.07.26
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 HOJO MASAAKI
分类号 H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人
主权项
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